[发明专利]一种0.5THz波纹喇叭天线及利用MEMS工艺进行制备的方法

权利要求书

1.一种0.5THz波纹喇叭天线，其特征在于：该天线为一长方体，在长方体相邻的两个侧面各开有一个定位凹槽，在长方体的上表面正中心位置有喇叭结构，喇叭结构的下方为波导，喇叭结构与波导之间用台阶相连，在喇叭结构的两侧各有两个波纹槽；波纹槽为V形。

2.一种利用MEMS工艺进行制备0.5THz波纹喇叭天线的方法，其特征在于步骤为：

1）在上层硅片的上表面采用KOH各向异性刻蚀加工喇叭结构和“V”形波纹槽；

2）在上层硅片的下表面采用DRIE刻蚀加工定位凹槽；

3）在下层硅片的上表面采用DRIE刻蚀加工定位凹槽；

4）分别对上层硅片的表面和下层硅片的表面进行溅金；

5）利用金-金键合工艺将步骤4）得到的上层硅片和下层硅片结合在一起。

6）通过划片将天线单元分离，获得加工成品。