[发明专利]一种差分电容式微加速度计有效
| 申请号： | 201310501679.8 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103513056A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 黄友华 | 申请（专利权）人： | 成都市宏山科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种差分电容式微加速度计，它包括上移动板、下移动板和固定在上移动板和下移动板上的弹性梁，所述的上移动板和下移动板的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板和下移动板之间还设置有固定极板，所述的固定极板为菱形。其优点是：结构简单，制作工序简单，且电容差值变化沿一定的规律变化，可简化后续的信号处理电路。 | ||
| 搜索关键词： | 种差 电容 式微 加速度计 | ||
【主权项】：
一种差分电容式微加速度计，其特征在于：它包括上移动板（12）、下移动板（11）和固定在上移动板（12）和下移动板（11）上的弹性梁（5），所述的上移动板（12）和下移动板（11）的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板（12）和下移动板（11）之间还设置有固定极板（4），所述的固定极板（4）为菱形。
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