[发明专利]一种差分电容式微加速度计有效
| 申请号： | 201310501679.8 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103513056A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 黄友华 | 申请（专利权）人： | 成都市宏山科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 种差 电容 式微 加速度计 | ||
【权利要求书】：
1.一种差分电容式微加速度计，其特征在于：它包括上移动板（12）、下移动板（11）和固定在上移动板（12）和下移动板（11）上的弹性梁（5），所述的上移动板（12）和下移动板（11）的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板（12）和下移动板（11）之间还设置有固定极板（4），所述的固定极板（4）为菱形。
2.根据权利要求1所述的一种差分电容式微加速度计，其特征在于：所述的上活动极板包括左上活动极板（32）和右上活动极板（31），所述的下活动极板包括左下活动极板（22）和右下活动极板（21）。
3.根据权利要求2所述的一种差分电容式微加速度计，其特征在于：所述的左上活动极板（32）和左下活动极板（22）位于同一垂直面上，所述的右上活动极板（31）和右下活动极板（21）位于同一垂直面上。
4.根据权利要求3所述的一种差分电容式微加速度计，其特征在于：所述的固定极板（4）位于左上活动极板（32）和右上活动极板（31）的中间。
5.根据权利要求4所述的一种差分电容式微加速度计，其特征在于：所述的固定极板（4）的一条对称轴位于左上活动极板（32）和左下活动极板（22）的中线上。
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