[发明专利]一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的方法及系统有效
| 申请号： | 201310501656.7 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103529651A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 黄文德;史凯;张书翰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的系统，包括量测机、通信接口模块网络与曝光机，其中：量测机用于自动对曝光后的玻璃基板进行量测，并将量测获得的各个量测点的曝光偏移量数据通过所述通信接口模块网络上传给所述曝光机的预定存放区域中；曝光机用于根据所述各个量测点的曝光偏移量数据获得所述各个量测点相应的补值量，并对玻璃基板上与所述各个量测点对应的曝光点进行补值处理。本发明实施例还公开了相应的实现自动补值的方法。根据本发明的实施例，可以提高曝光机的补值效率以及补值准确性，并可节省人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 曝光 制程中 实现 自动 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种在玻璃基板曝光制程中实现自动补值的系统，其特征在于，包括量测机（1）、与所述量测机（1）通过通信接口模块网络（3）进行通信的曝光机（2），其中：所述量测机（1），用于自动对曝光后的玻璃基板进行量测，并将量测获得的各个量测点的曝光偏移量数据，通过所述通信接口模块网络（3）上传给所述曝光机（2）的预定存放区域中；所述曝光机（2），用于从所述存放区域中读出所述曝光偏移量数据，并根据所述各个量测点的曝光偏移量数据获得所述各个量测点相应的补值量，并对所述玻璃基板上与所述各个量测点对应的曝光点进行补值处理。
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