[发明专利]一种叠层电极的制备方法有效
| 申请号： | 201310499937.3 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN103594596A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 丛国芳 | 申请（专利权）人： | 溧阳市东大技术转移中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/40 | 分类号： | H01L33/40;H01L33/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 黄明哲 |
| 地址： | 213300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种发光器件上的叠层电极的制备方法，依次包括如下步骤：（1）在半导体发光单元的表面蒸镀反射层；（2）在反射层表面蒸镀阻挡层；（3）在阻挡层表面溅射形成聚结抑制层；（4）在聚结抑制层上溅射氧化屏蔽层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种叠层电极的制备方法，依次包括如下步骤：（1）在半导体发光单元的表面蒸镀反射层；（2）在反射层表面蒸镀阻挡层；（3）在阻挡层表面溅射形成聚结抑制层；（4）在聚结抑制层上溅射氧化屏蔽层。
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