[发明专利]一种基于质谱仪的自反馈气体定量装置及其使用方法有效
| 申请号： | 201310482967.3 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN103529152A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 王新锋;余堃;田先清;李哲;赵颖彬 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所 |
| 主分类号： | G01N30/72 | 分类号： | G01N30/72;G01N35/10;G01N35/00 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘兴亮 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于质谱仪的自反馈气体定量装置及其使用方法，包括质谱仪；还包括控制系统、配气系统、压力控制器、抽气装置、至少一个控制阀、至少一个进样口；所述抽气装置通过连接管与压力控制器连接；所述配气系统通过连接管与所述控制阀连接；所述进样口通过连接管与所述控制阀连接；所述控制阀与所述压力控制器通过第一三通接头与所述质谱仪连接；所述质谱仪与所述控制系统电联接；所述配气系统与所述控制系统电联接；所述控制阀与所述控制系统电联接；所述压力控制器与所述控制系统电联接。本发明基于质谱仪的自反馈气体定量装置操作简易、占用空间小、维护方便、运行成本低，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 质谱仪 反馈 气体 定量 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种基于质谱仪的自反馈气体定量装置，包括质谱仪；其特征在于：还包括控制系统、配气系统、压力控制器、抽气装置、至少一个控制阀、至少一个进样口；所述抽气装置通过连接管与压力控制器连接；所述配气系统通过连接管与所述控制阀连接；所述进样口通过连接管与所述控制阀连接；所述控制阀与所述压力控制器通过第一三通接头与所述质谱仪连接；所述质谱仪与所述控制系统电联接；所述配气系统与所述控制系统电联接；所述控制阀与所述控制系统电联接；所述压力控制器与所述控制系统电联接。
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