[发明专利]具有微机械传声器结构的构件在审
| 申请号： | 201310478347.2 | 申请日： | 2013-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN103546845A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | J·策尔林;R·艾伦普福特;J·格拉夫;C·谢林;F·安特;M·库尔契奇 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/02 | 分类号： | H04R7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及具有微机械传声器结构的构件。提出用于改进传声器构件的传声器灵敏性和传声器信号的线性行为的措施，该措施还有助于提高构件的牢固性。构件(10)的微机械传声器结构以层结构方式实现在半导体衬底(1)上并且包括：声学上起作用的膜片(11)，该膜片至少部分地跨越衬底背侧中的声孔(14)并且设有传声器电容器组件的至少一个可运动的电极；以及固定的、可透声的、具有贯通孔(16)的对应元件(15)，该对应元件以层结构方式布置在膜片(11)上方并且作为用于传声器电容器组件的至少一个不可运动的电极起作用。根据本发明，膜片(11)在中心区域(121)中连接到半导体衬底(1)上。膜片(11)还至少区域式地具有瓦楞板形的褶皱(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微机 传声器 结构 构件 | ||
【主权项】：
具有微机械传声器结构的构件(10)，该传声器结构以层结构的方式实现在半导体衬底(1)上并且至少包括‑一声学上起作用的膜片(11)，该膜片至少部分地跨越衬底背侧中的一声孔(14)并且设有传声器电容器组件的至少一个可运动的电极，和‑一固定的、可透声的、具有贯通孔(16)的对应元件(15)，该对应元件以层结构方式布置在所述膜片(11)的上方并且作为用于所述传声器电容器组件的至少一个不可运动的电极的载体起作用，其特征在于，所述膜片(11)在一中心区域(121)中连接到所述半导体衬底(1)上，并且，所述膜片(11)至少区域式地具有瓦楞板形的褶皱(13)。
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