[发明专利]具有微机械传声器结构的构件

权利要求书

1.具有微机械传声器结构的构件(10)，该传声器结构以层结构的方式实现在半导体衬底(1)上并且至少包括

-一声学上起作用的膜片(11)，该膜片至少部分地跨越衬底背侧中的一声孔(14)并且设有传声器电容器组件的至少一个可运动的电极，和

-一固定的、可透声的、具有贯通孔(16)的对应元件(15)，该对应元件以层结构方式布置在所述膜片(11)的上方并且作为用于所述传声器电容器组件的至少一个不可运动的电极的载体起作用，

其特征在于，所述膜片(11)在一中心区域(121)中连接到所述半导体衬底(1)上，并且，所述膜片(11)至少区域式地具有瓦楞板形的褶皱(13)。

2.根据权利要求1的构件，其特征在于，所述膜片通过至少一个刚性的悬挂条(12)连接到所述半导体衬底(1)上，所述悬挂条从所述声孔(14)的边缘区域延伸直到膜片区域中。

3.根据权利要求2的构件，其特征在于，膜片悬挂装置包括至少两个悬挂条(12)，所述悬挂条分别从所述声孔(14)的一边缘区段向该声孔(14)的对置的边缘区段延伸并且在所述膜片(11)的中心区域中相交叉0

4.根据权利要求2或3的构件，其特征在于，所述膜片边缘在其他部位不被纳入到所述传声器结构的层结构中。

5.根据权利要求1到4之一的构件，其特征在于，所述膜片(11)至少区域式地延伸直到超过所述声孔(14)的所述边缘区域，从而所述声孔(14)的所述边缘区域构成用于所述膜片(11)的衬底侧止挡。

6.根据权利要求1到5之一的构件，其特征在于，在所述膜片(11)的所述边缘区域中，在所述膜片(11)的朝向所述对应元件(15)的侧上构成有至少一个山脊状的结构元件(17)，并且，所述山脊状的结构元件(17)伸入到所述对应元件(15)的一相应地成形的空隙(18)中。

7.根据权利要求1到6之一的构件，其特征在于，在所述膜片的所述中心区域中构成有至少一个压力补偿孔。

8.根据权利要求1到7之一的构件，其中，所述半导体衬底(1)涉及一种单晶的半导体材料、尤其涉及硅晶片，其特征在于，所述膜片(11)的至少一层为单晶的并且由所述半导体衬底(1)结构化出来。

9.根据权利要求2到8之一的构件，其特征在于，所述至少一个悬挂条(12)由所述半导体衬底(1)结构化出来并且基本上在该半导体衬底(1)的整个厚度上延伸。