[发明专利]测试分选机有效
| 申请号: | 201310459888.0 | 申请日: | 2013-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN103706577A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
| 发明(设计)人: | 具泰兴;卢钟基 | 申请(专利权)人: | 泰克元有限公司 |
| 主分类号: | B07C5/344 | 分类号: | B07C5/344 |
| 代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;王艳春 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | 本文公开了一种支持半导体装置测试的测试分选机。该测试分选机包括干燥空气供给装置,用于将干燥空气供给至测试室的测试窗,因此防止在进行低温测试时可能出现的结露现象。 | ||
| 搜索关键词: | 测试 分选 | ||
【主权项】:
一种测试分选机,包括:装载装置,用于将半导体装置装载到测试托盘上;测试室,提供在其中用于测试装载到所述测试托盘上的所述半导体装置的测试空间,所述测试室上设有测试窗,并且所述测试窗朝向测试器开放;卸载装置,将已经被测试的所述半导体装置从所述测试托盘卸载;紧固件,固定通过所述测试窗与所述测试分选机相连接的所述测试器的接口板;以及干燥空气供给装置,包括朝向所述测试窗排放干燥空气的注射喷嘴。
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