[发明专利]测试分选机

说明书

技术领域

本发明涉及用于测试半导体装置的测试分选机。

背景技术

测试分选机是将已经通过预定制造工序制造的半导体装置电连接至测试器并且根据测试结果将半导体装置分类的设备。

在许多专利文献（例如，公开号为10-2008-0018079的韩国专利（专利文献1）、登记号为10-0532626的韩国专利（专利文献2）等）中介绍了测试分选机或属于它们的技术。

通常，因为半导体装置使用在各种使用环境（例如，温度环境）中，所以需要不仅能够在室温测试环境中而且能够在高温或低温测试环境中使用的测试分选机。

具体地，关于低温测试，尽管典型的测试分选机的最低测试限制温度为-40℃，但是最近待测试的半导体变得多样化并且因为用于测试的温度范围扩大，经常需要在-40℃以下（甚至-50℃以下或更低温度）进行测试。为此，近来，测试分选机还被设计为使得半导体装置可在-40℃以下被测试。

在此，当在极低的温度条件下进行测试时，位于测试分选机与测试器的接口板之间的用于联接的结构的温度降低到露点温度以下。此外，当在极低的温度条件下长时间进行测试时，设置在测试器的接口板内的隔离件（由环氧树脂制成）的温度也降低至露点温度以下的温度。

因此，联接结构或隔离件周围的空气也降低到露点温度以下，并且在联接结构的表面和隔离件的表面上出现结露。这种结露现象可造成短路事故、整个结构的强度降低、设备故障等。

为了防止出现这些问题，通常在测试室的外侧壁上设置加热器，以使得结构周围的空气的温度可维持在露点温度以上。然而，仍然存在的问题是，难以防止在不能设置加热器的部分或在加热器的加热不能充分地传输至的部分出现凝露。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种测试分选机，该测试分选机配置为使得测试分选机与测试器的接口板之间的结合部周围的空气可具有较低的露点温度。

根据本发明的一优选实施方式，提供了一种测试分选机，其包括：用于将半导体装置装载到测试托盘上的装载装置；测试室，提供在其中用于测试装载到测试托盘上的半导体装置的测试空间，并且测试室上设置有测试窗，该测试窗朝向测试器开放；以及将已经被测试的半导体装置从测试托盘卸载的卸载装置。该测试分选还包括：固定通过测试窗与测试分选机相连接的测试器的接口板的紧固件；以及具有朝向测试窗排放干燥空气的注射喷嘴的干燥空气供给装置。

干燥空气供给装置还可包括空气导引装置，该空气导引装置导引从所述注射喷嘴排放的干燥空气的流动。

空气导引装置可联接至测试窗的边缘的外表面，并且呈矩形框架状，以允许接口板插入至空气导引装置中或从空气导引装置移除。

测试分选机还可包括至少一个中央支承件，其将测试窗分成至少两个窗部分，其中注射喷嘴可被安装为将干燥空气从所述至少一个中央支承件的第一端朝向所述至少一个中央支承件的第二端排放。

干燥空气供给装置还可包括空气导引装置，该空气导引装置导引从注射喷嘴排放的干燥空气的流动。空气导引装置可包括至少一个空气导引板，所述至少一个空气导引板配置为使从注射喷嘴排放的干燥空气在经过所述至少一个中央支承件之后沿测试窗的边缘流动。

根据本发明的另一优选实施方式，提供了一种测试分选机，其包括：用于将半导体装置装载到测试托盘上的装载装置；测试室，提供在其中用于测试装载到测试托盘上的半导体装置的测试空间，并且该测试室上设置有测试窗，该测试窗朝向测试器开放；以及将已经被测试的半导体装置从测试托盘卸载的卸载装置。该测试分选机还包括：固定通过测试窗与测试分选机相连接的测试器的接口板的紧固件；以及阻拦外侧空气到达测试窗的外侧空气阻拦装置。

外侧空气阻拦装置可联接至测试窗的边缘的外表面，并且呈矩形框架状，以允许接口板插入到外侧空气阻拦装置中或从外侧空气阻拦装置移除。

外侧空气阻拦装置可包括在测试窗的边缘周围形成外侧空气阻拦障碍。

附图说明

根据下面结合附图给出的优选实施方式的描述，本发明的以上及其它目的和特征将变得显而易见，在附图中：

图1是示出了根据本发明一实施方式的测试分选机的结构的概念性平面图；

图2是图1的测试分选机的概念性后视图；

图3是示出了放大的图2的测试分选机的空气导引装置的立体图；以及

图4是示出了图1的测试分选机的关键部分的操作的参考视图。

具体实施方式