[发明专利]一种复合涂层炭/炭复合材料坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201310455254.8 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN103553711A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张永辉;肖志超;赵松;赵俊;彭志刚;胡振英;谷立民;侯卫权;苏君明;孟凡才 | 申请（专利权）人： | 西安超码科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/85 | 分类号： | C04B41/85;C04B35/83 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710075 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合涂层炭/炭复合材料坩埚，包括炭/炭复合材料坩埚，附着于炭/炭复合材料坩埚内表面的碳化硅涂层，附着于碳化硅涂层上的硅涂层以及附着于硅涂层上的氮化硅涂层。另外，本发明还公开了复合涂层炭/炭复合材料坩埚的制备方法。本发明利用氮化硅结合碳化硅复合涂层，可以有效抑制含硅蒸气对炭/炭复合材料坩埚内型面的侵蚀，大幅度提高了坩埚的使用寿命。采用化学气相反应法原位生成SiC涂层，相对传统CVD法制备的SiC涂层，与炭/炭基体结合强度更高，同时原位生成过量的Si涂层为氮化硅涂层的生成提供了Si源，利用高纯氮气原位生成的氮化硅涂层结合强度提高，进一步提高了坩埚的抗侵蚀能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 涂层 复合材料 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种复合涂层炭/炭复合材料坩埚，其特征在于，包括炭/炭复合材料坩埚，附着于炭/炭复合材料坩埚内表面的碳化硅涂层，附着于碳化硅涂层上的硅涂层以及附着于硅涂层上的氮化硅涂层。
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