[发明专利]具有接触环除镀功能的电镀设备

摘要

一种电镀设备，所述电镀设备具有在头部中的转动件，在转动件上有接触环。升降/旋转传动机构可移动头部，以将接触环的区段放入除镀站的除镀通道中。电流和除镀液从接触环的接触件的径向朝内的位置被直接施加至接触件上。电流和除镀液也可从径向朝接触环的外部的位置分开来施加至环接触件的背面上。除镀站上的密封件随着接触环旋转通过除镀通道而造成与接触环的滑动接触，其中密封件与通过接触环中的开口而抽出除镀和清洗液的排放或真空开口相关联。

主权项

一种电镀设备，所述电镀设备包括：容器，所述容器用于盛放电镀溶液；头部，所述头部包括具有接触环的转动件和用于旋转所述转动件的头部电机；升降/旋转传动机构，所述升降/旋转传动机构附接至所述头部；除镀站，所述除镀站具有适于容纳所述接触环的区段的除镀通道；其中，在电镀操作期间，所述升降/旋转传动机构可移动，以将所述头部与所述容器啮合，并且将所述接触环的区段至少部分地放入所述除镀通道中；在所述除镀通道的第一侧上的第一除镀电极和第一除镀流体喷嘴；和在所述除镀通道的第二侧上的第二除镀电极和第二除镀流体喷嘴。