[发明专利]一种基于石墨烯纳米带的自旋阀及其制备方法有效
| 申请号： | 201310449102.7 | 申请日： | 2013-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103490007A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 孙清清;王鲁浩;王鹏飞;张卫;周鹏 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12;G11C11/16;C01B31/04;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种基于石墨烯纳米带的自旋阀及其制备方法。本发明采用石墨烯作为沟道材料，采用氢等离子体刻蚀，控制石墨烯宽度方向减小形成石墨烯纳米带，并氢化边缘碳原子；采用氧等离子体刻蚀，控制石墨烯宽度方向减小形成石墨烯纳米带，并氧化边缘碳原子，从而得到石墨烯纳米带的功能器件。理论计算表明制备的器件具有自旋阀的效果，可以应用于自旋存储器中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 纳米 自旋 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯纳米带的自旋阀，其特征在于采用功能化边缘碳原子的石墨烯纳米带作为自旋输运沟道。
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