[发明专利]检查装置

摘要

本发明提供一种检查装置，能够准确地检查金属掩模片，所述检查装置具有至少一个张力部（13），对向金属掩模框安装之前的金属掩模片（4）施加预先设定的规定的检查用张力；以及在所述张力部对所述金属掩模片施加了张力的状态下测定所述金属掩模片的尺寸的尺寸测定部、测定所述金属掩模片的挠曲的挠曲测定部及检查所述金属掩模片的外观缺陷的外观检查部中的至少一个。

主权项

一种检查装置，具有：至少一个张力部，对金属掩模片施加张力；检查部，具有在通过所述张力部对向金属掩模框贴附之前的所述金属掩模片施加了预先设定的规定的检查用张力的状态下测定所述金属掩模片的尺寸的尺寸测定部、测定所述金属掩模片的挠曲的挠曲测定部及检查所述金属掩模片的外观缺陷的外观检查部；调节部，使所述张力部施加给所述金属掩模片的张力变化；控制部，执行以下控制：由所述调节部使张力变化并使所述尺寸测定部测定所述金属掩模片的尺寸以及由所述调节部使张力变化并使所述挠曲测定部测定所述金属掩模片的挠曲；计算部，基于使用所述控制部所得的测定结果，算出施加给所述金属掩模片的张力与所述金属掩模片的伸长量及所述金属掩模片的挠曲量之间的关系；以及贴附张力确定部，基于由所述计算部算出的结果来确定将所述金属掩模片贴附于所述金属掩模框时的张力。