[发明专利]一种ITO粗化的蒸镀方法无效
| 申请号： | 201310414877.0 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN103451605A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 郁彬 | 申请（专利权）人： | 昆山奥德鲁自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08;C23C14/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用分步ITO蒸镀代替传统ITO蒸镀进行ITO粗化的方法；将浓硫酸和双氧水按照2：1的比例进行混合，同时降温至100度，将外延片放置其中进行充分清洗5min后，取出用清水冲洗干净。将清洗后外延片固定于镀锅内，采用ITO分步蒸镀的方式，改变每层ITO蒸镀时的速率和氧流量，从而使外延片最外层ITO达到粗化的效果；本工艺具有操作简单可行，按照上述流程蒸镀后的ITO表面粗化效果佳，出光效率后，极大得提高了LED芯片的外量子效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 方法 | ||
【主权项】：
一种ITO粗化的蒸镀方法，其特征在于包括以下步骤：（1）将浓硫酸和双氧水按照2:1进行混合，同时将混酸降温至100℃；（2）将外延片用提篮在混酸中进行充分清洗10min后，用清水进行冲洗，去除残留的化学物质；（3）将清洗后的外延片固定于镀锅后，进行E‑Beam轰击ITO靶材，进行ITO蒸镀；（4）ITO蒸镀的厚度为900A，采用分步蒸镀的方式进行蒸镀；（5）ITO蒸镀后按照正常LED芯片流程进行作业，直至芯粒以方片入库。
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