[发明专利]一种ITO粗化的蒸镀方法无效
| 申请号： | 201310414877.0 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN103451605A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 郁彬 | 申请（专利权）人： | 昆山奥德鲁自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08;C23C14/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ito 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种ITO粗化的蒸镀方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）将浓硫酸和双氧水按照2:1进行混合，同时将混酸降温至100℃；
（2）将外延片用提篮在混酸中进行充分清洗10min后，用清水进行冲洗，去除残留的化学物质；
（3）将清洗后的外延片固定于镀锅后，进行E-Beam轰击ITO靶材，进行ITO蒸镀；
（4）ITO蒸镀的厚度为900A，采用分步蒸镀的方式进行蒸镀；
（5）ITO蒸镀后按照正常LED芯片流程进行作业，直至芯粒以方片入库。
2.根据权利要求1所述的一种ITO粗化的蒸镀方法，其特征在于：所述步骤（4）中分步蒸镀的方式为：初始阶段300A，镀率为0.5A/S，氧流量为10sccm，中间阶段300A，镀率为1A/S，氧流量为10sccm，最后阶段镀率为3A/S，氧流量为20sccm。
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