[发明专利]一种投影物镜数值孔径测量装置及方法

摘要

本发明提供一种投影物镜数值孔径的测量装置及方法，包括：物面上放置的小孔阵列，像面上放置的一个可以在xyz向的高精度步进工件台，在工件台上安装波像差测量装置。测量方法包括如下步骤：将小孔阵列放置在物面上；将波前探测器放置在物镜像面位置；设置物镜NA使用照明光束照明掩模；使测试台在Z方向运动，使用波前探测器找到波像差最小的位置；记录下此时的波像差值及坐标位置；改变测试台位置和照明光束，重复前述两步，直到所有视场点的最小WFE值及坐标均被测得；计算投影物镜的数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。

主权项

一种投影物镜数值孔径测量装置，其特征在于包括：小孔阵列，安装在物面支撑单元（104）；投影物镜，照明系统出射的光经过小孔阵列投射到投影物镜；工件台，位于物镜的像面，沿xyz向高精度步进；波像差测量装置，安装在工件台上，记录波像差最小的位置（106）处的波像差和偏移波像差最小的位置（106）处的波像差。