[发明专利]一种投影物镜数值孔径测量装置及方法

权利要求书

1.一种投影物镜数值孔径测量装置，其特征在于包括：

小孔阵列，安装在物面支撑单元（104）；

投影物镜，照明系统出射的光经过小孔阵列投射到投影物镜；

工件台，位于物镜的像面，沿xyz向高精度步进；

波像差测量装置，安装在工件台上，记录波像差最小的位置（106）处的波像差和偏移波像差最小的位置（106）处的波像差。

2.根据权利要求1所述的一种投影物镜数值孔径测量装置，其特征在于所述的波像差测量装置为哈特曼波前传感器或干涉仪。

3.一种利用权利要求1所述的一种投影物镜数值孔径测量装置进行投影物镜数值孔径测量方法，其特征在于包括步骤：

步骤S1:将小孔阵列放置在物面上；

步骤S2:将波前探测器放置在物镜像面位置；

步骤S3:设置物镜NA,使用照明光束照明掩模；

步骤S4:使测试台在Z方向运动，使用波前探测器找到波像差最小的位置，记录此时的波像差值及Z向坐标位置；

步骤S5:使波前探测器处于一定的离焦位置，记录此时的波像差和Z向坐标位置；

步骤S6:计算投影物镜的数值孔径。