[发明专利]阻抗匹配方法及阻抗匹配系统有效
| 申请号： | 201310388807.2 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN104425201B | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张璐;王东;陈鹏;吕铀;师帅涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供阻抗匹配方法及阻抗匹配系统，阻抗匹配方法包括以下步骤步骤S1，采集射频电源的输出信号，并根据输出信号判断射频电源输出的射频功率信号是否存在；步骤S2，对射频电源的输出阻抗和负载阻抗进行匹配；步骤S3，控制电机停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。本发明提供的阻抗匹配方法，其可以提高阻抗匹配的速率，从而可以避免在整个工艺过程中无法实现阻抗匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种阻抗匹配方法，其用于对射频电源的输出阻抗与负载阻抗进行匹配，其特征在于，包括以下步骤：S1，采集所述射频电源的输出信号，并根据所述输出信号判断所述射频电源输出的射频功率信号是否存在，若是，则执行步骤S2；否则，执行步骤S3；S2，对所述射频电源的输出阻抗和负载阻抗从当前匹配位置开始进行匹配；S3，控制电机停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。
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