[发明专利]阻抗匹配方法及阻抗匹配系统

权利要求书

1.一种阻抗匹配方法，其用于对射频电源的输出阻抗与负载阻抗进行匹配，其特征在于，包括以下步骤：

S1，采集所述射频电源的输出信号，并根据所述输出信号判断所述射频电源输出的射频功率信号是否存在，若是，则执行步骤S2；否则，执行步骤S3；

S2，对所述射频电源的输出阻抗和负载阻抗从当前匹配位置开始进行匹配；

S3，控制电机停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。

2.根据权利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，步骤S2还包括以下步骤：

S21，检测匹配控制算法所需的参数；

S22，根据匹配控制算法，对所述射频电源的输出阻抗和负载阻抗从当前匹配位置开始进行匹配。

3.根据权利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，在步骤S1之前还包括步骤S0，检测所述射频电源是否开启，若是，则进入步骤S1；若否，则控制电机返回预设匹配位置。

4.根据权利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，所述步骤S1包括下列步骤：

S11，根据所述输出信号获得脉冲检测信号，所述脉冲检测信号为由表示所述射频电源输出的射频功率信号是否存在的标志位形成的信号，根据所述脉冲检测信号获取当前标志位；

S12，若所述标志位为高电平或者低电平，则判定所述射频功率信号存在；

S13，若所述标志位为低电平或者高电平，则判定所述射频功率信号不存在。

5.根据权利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，在所述步骤S3中，不需要经过匹配控制算法，直接给所述电机发送停止指令，所述电机根据所述停止指令停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。

6.根据权利要求1所述的阻抗匹配方法，其特征在于，在所述步骤S1中，若所述射频电源具有同步信号，则根据所述同步信号判断所述射频电源输出的射频功率信号是否存在，若是，则执行步骤S2；否则，则执行步骤S3。

7.一种阻抗匹配系统，其包括阻抗匹配器，用以对射频电源的输出阻抗和负载阻抗进行匹配，其特征在于，还包括脉冲检测单元，用以采集所述射频电源输出信号，并根据所述输出信号判断所述射频电源输出的射频功率信号是否存在，且向所述阻抗匹配器发送表示所述射频功率信号存在或不存在的标志位；

所述阻抗匹配器用于当接收到表示所述射频功率信号存在的所述标志位时，对所述射频电源的输出阻抗和负载阻抗从当前匹配位置开始进行匹配；当接收到表示所述射频功率信号不存在的所述标志位时，停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。

8.根据权利要求7所述的阻抗匹配系统，其特征在于，所述阻抗匹配器包括阻抗检测单元、控制单元和执行单元，其中，

所述阻抗检测单元用于检测匹配控制算法所需的参数，并将其发送至所述控制单元；

所述控制单元用于当接收到由所述脉冲检测单元发送而来的表示所述射频功率信号存在的标志位时，根据由所述阻抗检测单元发送而来的参数进行匹配控制算法以向所述执行单元发送匹配指令；当接收到由所述脉冲检测单元发送而来的表示所述射频功率信号不存在的标志位时，不需要根据由所述阻抗检测单元发送而来的参数进行匹配控制算法，而直接向所述执行单元发送停止指令；

所述执行单元用于当接收到所述控制单元发送的匹配指令时，对所述射频电源的输出阻抗和负载阻抗从当前匹配位置开始进行匹配；当接收到所述控制单元发送的停止指令时，停止匹配工作且保持在当前匹配位置不变。

9.根据权利要求8所述的阻抗匹配系统，其特征在于，所述执行单元包括电机和与之连接的可变元件，

所述控制单元当接收到由所述脉冲检测单元发送而来的表示所述射频功率信号存在的标志位时，根据由所述阻抗检测单元发送而来的参数进行匹配控制算法以向所述电机发送匹配指令；所述电机根据所述匹配指令调节所述可变元件从当前匹配位置开始进行匹配；

所述控制单元当接收到由所述脉冲检测单元发送而来的表示所述射频功率信号不存在的标志位时，不需要根据由所述阻抗检测单元发送而来的参数进行匹配控制算法，而直接向所述电机发送停止指令；所述电机根据所述停止指令停止转动，以使所述可变元件保持当前匹配位置不变。