[发明专利]一种宽频振动能量采集器结构及其制造方法无效
| 申请号： | 201310385405.7 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN104426424A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李志刚;欧毅;欧文;陈大鹏;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种振动能量采集器的制造方法，包括以下步骤：提供上框架和下框架，并分别在上框架的下表面和下框架的上表面形成金属层；提供压电薄膜，并在其表面形成金属层；利用下框架和上框架将压电薄膜固定在中间，形成三明治结构；在压电膜中间位置设置质量块。相应地，本发明还提供了一种振动能量采集器结构。本发明通过质量块振动使压电薄膜发生大形变，利用有机压电薄膜的非线性弹性形变实现宽频率范围的振动能量采集，并将其转化成电能输出，进而有效地提高了振动能量采集器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽频 振动 能量 采集 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种振动能量采集器结构的制造方法，该方法包括以下步骤：a)提供下框架（101）和上框架（102），并分别在下框架（101）的上表面和上框架（102）的下表面形成金属层(103)；b)提供压电薄膜（104），并在其表面形成金属层(105)；c)利用下框架（101）和上框架（102）将压电薄膜（104）固定在中间，形成三明治结构；d)在压电薄膜中间位置设置质量块（106）。
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