[发明专利]一种硅片制绒的清洗方法无效
申请号: | 201310382295.9 | 申请日: | 2013-08-28 |
公开(公告)号: | CN103426972A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 王涛;郭永刚;董鹏 | 申请(专利权)人: | 中电投西安太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L33/10 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人: | 王建国 |
地址: | 710068 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅片制绒的清洗方法,该方法通过在制绒前依次进行第一次预清洗以及第二次预清洗,有效去除硅片上的有机物污染及硅片表面的颗粒杂质;并在制绒后进行制绒后清洗,去除硅片上的金属离子污染;从而能有效地对硅片进行清洗,提高硅片制绒后的表面清洁度,进一步提高后续制成的太阳能电池的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 清洗 方法 | ||
【主权项】:
一种硅片制绒的清洗方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:提供一硅片;采用第一清洗液对所述硅片进行第一次预清洗,去除硅片上的有机物污染及硅片表面的颗粒杂质;采用第三清洗液对经第一次预清洗后的硅片进行第二次预清洗,进一步去除硅片上的有机物;对经第二次预清洗后的硅片进行制绒工艺,在硅片上形成绒面;采用第二清洗液对制绒后的硅片进行制绒后清洗,去除硅片上的金属离子污染。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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