[发明专利]用于镍-磷涂覆的存储磁盘的包含混杂研磨剂的抛光组合物有效
申请号: | 201310377657.5 | 申请日: | 2013-08-27 |
公开(公告)号: | CN103627327A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | R.洛皮塔亚;S.帕拉尼萨米钦纳萨姆比;H.西里沃达尼 | 申请(专利权)人: | 嘉柏微电子材料股份公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02;B24B29/00;G11B5/84 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 宋莉 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 发明提供用于镍-磷涂覆的存储磁盘的包含混杂研磨剂的抛光组合物,更具体地说,本发明提供包含(a)研磨剂和(b)水的抛光组合物,所述研磨剂包含(i)具有0.8:1-1.2:1的平均纵横比的第一α氧化铝颗粒、(ii)具有大于1.2:1的平均纵横比的第二α氧化铝、(iii)热解氧化铝颗粒和(iv)湿法二氧化硅颗粒。本发明还提供使用所述抛光组合物抛光基材、尤其是镍-磷基材的方法。 | ||
搜索关键词: | 用于 磷涂覆 存储 磁盘 包含 混杂 研磨剂 抛光 组合 | ||
【主权项】:
抛光组合物,其包含:(a)研磨剂,其包含:(i)第一α氧化铝颗粒,其中所述第一α氧化铝颗粒具有0.8:1‑1.2:1的平均纵横比,(ii)第二α氧化铝颗粒,其中所述第二α氧化铝颗粒具有大于1.2:1的平均纵横比,(iii)热解氧化铝颗粒,(iv)湿法二氧化硅颗粒,以及(b)水。
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