[发明专利]光电探测器线性区间及其面响应特性测量装置

摘要

一种光电探测器线性区间及其面响应特性测量装置，包括光源、第一光阑、光功率稳定器、光功率衰减器、第二光阑、分光棱镜、第一光开关、第二光开关、第一反射镜、第二反射镜、积分球、待测光电探测器、电信号放大器、数据采集卡、计算机和恒温箱，本发明装置主要采用积分球出射光照度均匀特性，利用激光光源的线宽窄、功率稳定等优点，能够实现不同光电探测器在特定波长下的直线度和面响应均匀性的精确测量，具有方便快捷、动态范围大、抗干扰性强等优点，其重复测量精度优于0.05%。

主权项

一种光电探测器线性区间及其面响应特性测量装置，特征在于其构成包括：光源（1）、第一光阑（2）、光功率稳定器（3）、光功率衰减器（4）、第二光阑（5）、分光棱镜（6）、第一光开关（7）、第二光开关（8）、第一反射镜（9）、第二反射镜（10）、积分球（11）、待测光电探测器（12）、电信号放大器（13）、数据采集卡（14）、计算机（15）和恒温箱（16），上述元器件的位置关系如下：所述的光源（1）、第一光阑（2）、光功率稳定器（3）、光功率衰减器（4）、第二光阑（5）、分光棱镜（6）、第一光开关（7）、第二光开关（8）、第一反射镜（9）、第二反射镜（10）、积分球（11）、待测光电探测器（12）和电信号放大器（13）均置于所述的恒温箱（16）内，沿所述的光源（1）出射的单模线偏振光方向，依次是所述的第一光阑（2）、光功率稳定器（3）、光功率衰减器（4）、第二光阑（5）和分光棱镜（6），入射光经过所述的分光棱镜（6）分为透射光和反射光，所述的透射光依次经第一光开关（7）、第一反射镜（9）进入积分球（11）的第一入口，所述反射光依次经过所述的第二光开关（8）、第二反射镜（10）进入积分球（11）的第二入口，从积分球（11）的出口出射的光束入射到待测光电探测器（12）上，所述待测光电探测器（12）输出端经所述的电信号放大器（13）、数据采集卡（14）和所述的计算机（15）的输入端相连，所述的待测光电探测器（12）放置在二维可调机械移动平台上，所述的计算机（15）的输出端与所述的二维可调机械移动平台的控制端相连；从所述的分光棱镜（6）经第一光开关（7）、第一反射镜（9）到积分球（11）的光程与从分光棱镜（6）经第二光开关（8）、第二反射镜（9）到积分球（11）的光程相等。