[发明专利]光电探测器线性区间及其面响应特性测量装置有效
| 申请号： | 201310371081.1 | 申请日： | 2013-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN103438993A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陆海丰;杨琳;惠宏超;郭亚晶;姜秀青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J1/24 | 分类号： | G01J1/24 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光电 探测器 线性 区间 及其 响应 特性 测量 装置 | ||
1.一种光电探测器线性区间及其面响应特性测量装置，特征在于其构成包括：光源（1）、第一光阑（2）、光功率稳定器（3）、光功率衰减器（4）、第二光阑（5）、分光棱镜（6）、第一光开关（7）、第二光开关（8）、第一反射镜（9）、第二反射镜（10）、积分球（11）、待测光电探测器（12）、电信号放大器（13）、数据采集卡（14）、计算机（15）和恒温箱（16），上述元器件的位置关系如下：
所述的光源（1）、第一光阑（2）、光功率稳定器（3）、光功率衰减器（4）、第二光阑（5）、分光棱镜（6）、第一光开关（7）、第二光开关（8）、第一反射镜（9）、第二反射镜（10）、积分球（11）、待测光电探测器（12）和电信号放大器（13）均置于所述的恒温箱（16）内，沿所述的光源（1）出射的单模线偏振光方向，依次是所述的第一光阑（2）、光功率稳定器（3）、光功率衰减器（4）、第二光阑（5）和分光棱镜（6），入射光经过所述的分光棱镜（6）分为透射光和反射光，所述的透射光依次经第一光开关（7）、第一反射镜（9）进入积分球（11）的第一入口，所述反射光依次经过所述的第二光开关（8）、第二反射镜（10）进入积分球（11）的第二入口，从积分球（11）的出口出射的光束入射到待测光电探测器（12）上，所述待测光电探测器（12）输出端经所述的电信号放大器（13）、数据采集卡（14）和所述的计算机（15）的输入端相连，所述的待测光电探测器（12）放置在二维可调机械移动平台上，所述的计算机（15）的输出端与所述的二维可调机械移动平台的控制端相连；从所述的分光棱镜（6）经第一光开关（7）、第一反射镜（9）到积分球（11）的光程与从分光棱镜（6）经第二光开关（8）、第二反射镜（9）到积分球（11）的光程相等。
2.根据权利要求1所述的光电探测器线性区间及其面响应特性测量装置，其特征在于，所述的积分球（11）出口包含一个可变光阑。
3.根据权利要求1至2所述的光电探测器线性区间及其面响应特性测量装置，其特征在于，所述的待测光电探测器（12）感光面紧贴所述的积分球（11）的出口。
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