[发明专利]SiGe异质结双极晶体管无效
申请号: | 201310370791.2 | 申请日: | 2013-08-22 |
公开(公告)号: | CN103441142A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 杨永晖;张志华;刘玉奎;谭开洲;钟怡;张静;申钧;崔伟;梁俊昌 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
主分类号: | H01L29/737 | 分类号: | H01L29/737;H01L29/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 400060 重庆*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明提供了一种SiGe异质结双极晶体管的设计方法,属于微电子与固体电子领域。该方法涉及基区锗含量的分布方式,具体分为第一阶区,梯度区以及第二阶区。其中第一,二阶区的锗含量值恒定,梯度区的锗含量值呈线性递增。在没有增加基区锗总含量的条件下,本发明基区锗含量分布的SiGe异质结双极晶体管器件的电流增益温度稳定性更好,厄尔利电压高,使得厄尔利电压积更高,扩大了器件的应用范围。与此同时,在并未损失太大的器件特征频率情况下,增加了击穿电压,从而提高了器件的品质因子。 | ||
搜索关键词: | sige 异质结 双极晶体管 | ||
【主权项】:
一种SiGe异质结双极晶体管,包括集电极区域,基极区域,发射极区域;其中所述基极区域包含SiGe层,所述SiGe层的锗含量分布为阶梯式递增分布方式,SiGe层的平均锗含量不超过20%。
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