[发明专利]一种晶体硅片的制绒设备及制绒工艺方法

摘要

本发明公开了一种晶体硅片的制绒设备，包括主槽槽组、副槽槽组、烘干处理系统、传动系统和控制系统，所述的主槽槽组包括依次设置的混酸制绒槽、喷淋水洗槽、碱制绒槽、喷淋水洗槽、酸处理槽、喷淋水洗槽，其中：所述的混酸制绒槽、碱制绒槽和酸处理槽均采用双层槽结构，其包括下槽、由下槽槽底向上伸出并高出其顶端的上槽，所述上槽的长、宽均小于下槽的长、宽。本发明对制绒设备中的加热系统、补液系统、传动系统、主槽结构，以及主槽中的挡水组件和主槽之间的密封结构进行了特殊设计，同时对制绒工艺方法做了改进，极大地提高了多晶硅的转换效率，从而提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

一种晶体硅片的制绒设备，包括主槽槽组、副槽槽组、烘干处理系统、传动系统和控制系统，所述的主槽槽组包括依次设置的混酸制绒槽、喷淋水洗槽、碱制绒槽、喷淋水洗槽、酸处理槽、喷淋水洗槽，其特征在于：所述的混酸制绒槽、碱制绒槽和酸处理槽均采用双层槽结构，其包括下槽、由下槽槽底向上伸出并高出其顶端的上槽，所述上槽的长、宽均小于下槽的长、宽。