[发明专利]沉积装置以及使用该装置制造有机发光显示器的方法

摘要

一种沉积装置，包括：沉积源，用于接收沉积材料；和多个喷嘴，沿着第一方向设置在沉积源的一侧以用于将沉积材料喷射到相对的基板上。沉积源包括：中心区域和外侧区域，其中外侧区域位于中心区域的、有关于第一方向的相应端部。喷嘴包括：第一喷嘴，设置在各个外侧区域并且从沉积源往向外延伸，形成第一喷嘴的一端部的表面在第一方向上与基板表面形成第一倾斜角。

主权项

一种沉积装置，包括：沉积源，用于接纳沉积材料；以及多个喷嘴，沿着第一方向设置在所述沉积源的一侧以用于将所述沉积材料喷射到相对的基板上，其中，所述沉积源包括中心区域和多个外侧区域，其中所述外侧区域位于所述中心区域在所述第一方向上的相应端部；并且所述多个喷嘴包括多个第一喷嘴，所述第一喷嘴设置在所述多个外侧区域并且从所述沉积源向外延伸，其中用于形成每个所述第一喷嘴的一端部的表面在所述第一方向上与基板表面形成第一倾斜角。