[发明专利]用于对被测物进行电测试的检测头在审
| 申请号： | 201310359355.5 | 申请日： | 2013-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103592473A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·特罗茨;贡特尔·伯姆;阿希姆·韦兰德 | 申请（专利权）人： | 精炼金属股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 时永红;黄艳 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对被测物（17）、特别是晶片进行电测试的检测头（1），其具有至少两个通过至少一个隔离件（5）彼此间隔设置的导向板（2，3，4），这些导向板具有沿其表面分散设置的导向孔（9，10，11），测试触针（12）可移动地导入这些导向孔中，以接触被测物（17）。隔离件（5）由多个沿导向板（2，3，4）的表面分散设置并固定在导向板（2，3，4）上的点支撑件（6）组成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 被测物 进行 测试 检测 | ||
【主权项】：
一种用于对被测物，特别是晶片进行电测试的检测头，其具有至少两个通过至少一个隔离件彼此间隔设置的导向板，该导向板具有沿其表面分散设置的导向孔，在这些导向孔中可移动地引导测试触针以接触被测物，其特征在于，所述隔离件（5）由多个沿导向板（2，3，4）的表面分散设置并固定在所述导向板（2，3，4）上的点支撑件（6）构成。
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