[发明专利]用于对被测物进行电测试的检测头

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于对被测物、特别是晶片进行电测试的检测头，其具有至少两个通过至少一个隔离件彼此间隔设置的导向板，该导向板具有在其表面上分散设置的导向孔，用于接触被测物的测试触针被可移动地导入导向孔中。

背景技术

这类检测头公知地用于测试电气和电子电路，特别用于测试晶片。为了进行电测试，例如借助于升降装置使被测物升高并使其压迫测试触针的端部，从而使检测头的测试触针与被测物的相应的电接触面相接触。测试触针的另一端部在接触被测物的过程中向着接触间距扩大装置的接触面行进，这种接触间隔扩大装置用于扩大接触间距。在此应该指出的是：晶片的接触面位于最紧密的空间中，因此特别是被设计为弯曲金属线的测试触针彼此之间只具有最小程度的接触间距。利用接触间距扩大装置可以将接触间距扩大为，能够通过连接导线连接测试装置,该测试装置在电测试过程中接通测试路径，以测试被测物的电气性能。测试触针受到导向板的支撑，在此，彼此间隔开地设置至少两个导向板，并且它们具有测试触针从中穿过的导向孔。导向板由非导电材料制成，例如陶瓷。测试触针由导电性极好的材料制成，其同时具有一定的弹性，以便测试触针在接触过程中能够轻微地侧向弯曲。为了使至少两个导向板彼此相对地定位并保持间距，设置了隔离件，该隔离件由多个沿板的整个长度延伸且彼此间隔相邻设置的横支撑件构成。这些横支撑件占据相对较多的地方，这些地方不能作为测试面，因为在那里不能设置测试触针。另外的缺点在于，由于温度的影响而无法始终保证接触精度，因为会发生某种类型的双金属效应，它们可能会导致扭曲，即，测试触针不准确地或完全没有被置放于被测物和/或接触间距扩大装置的待接触的接触面上，其结果产生错误的测量。温度影响特别是出现在下述情况中：为了在某一温度范围内测试被测物的功能而在电测试期间将被测物置于不同的测试温度下。该温度范围可以从两位数的负温度至三位数的正温度。

发明内容

因此，本发明的目的在于提出一种前述类型的检测头，其即使在不同的温度下也能保持高精度的接触，此外，该检测头还具有扩大了的测试面。

根据本发明，通过利用沿导向板的表面分散设置并固定在导向板上的多个点支撑件所构成的隔离件实现该目的。在此将“点支撑件”理解为间隔元件，其在各个导向板的表面上只占据相对较小的横截面。因此，例如沿导向板的表面分散设置成列的多个间隔元件的总横截面明显小于延伸经过相应的相同区域的公知的横支撑件的横截面。位于在本发明中所设置的两个间隔元件之间的中间空间可用于容纳测试触针，即作为活跃的测试面。术语“点支撑件”不表示所构成的隔离件非常紧密相邻地支撑着两个导向板，而是说这两个导向板彼此之间可以具有预设的间隔，在此，各个点支撑件具有相对较小的表面，但却具有可选的相应较大的长度。沿导向板的表面分散设置并固定在导向板上的点支撑件为有关组件提供了非常刚性的连接，其结果是避免或基本避免了导向板的弯曲。这种弯曲例如出现在测试触针具有非常大的密度并且相对于轴向弹簧呈拱形前进的情况下，由此会使测试触针在接触过程中在导向孔中产生摩擦力，该摩擦力会导致至少一个导向板出现所提到的翘曲。相对于现有技术的条带形的横支撑件，由于基于本发明提供了一种更硬的联合体，因此解决了所述的至少一个导向板的弯曲问题，因为在沿表面分散设置的点支撑件的基础上，这种布置的刚性是非常高的。

在本发明的一种扩展方案中，将其中一个导向板设为第一导向板，并将另一导向板设为第二导向板，其中，第二导向板是接近被测物的导向板，而第一导向板是远离被测物的导向板。因此，第二导向板沿朝向被测物或测试产品的方向取向。第一导向板沿朝向接触间距扩大装置或测试装置的方向取向。