[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种图像传感器及其制造方法。制造CMOS图像传感器的方法包括：形成基板结构，该基板结构包括第一基板、第二基板以及在第一基板和第二基板之间的氧化层和含氮的指数匹配层；在第二基板中形成至少一个感光器件；以及在形成基板结构之后，在第二基板的第一表面上形成金属互连结构，第一表面朝向远离第一基板，使得至少一个感光器件在金属互连结构与指数匹配层和氧化层之间，金属互连结构电连接到至少一个感光器件。

主权项

一种制造图像传感器的方法，该方法包括：提供基板，所述基板中包括抗反射层；在所述基板中形成至少一个感光器件；在所述基板的第一表面上形成金属互连结构；在所述金属互连结构上将第三基板接合到所述基板；以及去除所述基板的除了所述抗反射层之外的一部分，所述抗反射层包括热氧化层。