[发明专利]一种超短脉冲激光加工小孔装置及小孔加工方法无效
| 申请号： | 201310351448.3 | 申请日： | 2013-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN103418913A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张晓兵;孙瑞峰 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王春光 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超短脉冲激光加工小孔装置及小孔加工方法，包括由上至下依次间隔设置的扫描振镜、激光扫描聚焦镜和楔形镜，所述扫描振镜、所述激光扫描聚焦镜和所述楔形镜位于同一中心轴上，激光束经由所述扫描振镜围绕所述中心轴沿同心圆轨迹旋转；所述激光束通过所述激光扫描聚焦镜聚焦；所述激光束通过所述楔形镜产生远离所述中心轴的偏折；且所述楔形镜与所述激光束同步转动，使得透过所述楔形镜的所述激光束保持相同的倾斜角度。本发明增加了加工小孔深度并提高了小孔的加工质量及稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超短 脉冲 激光 加工 小孔 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种超短脉冲激光加工小孔装置，其特征在于，所述超短脉冲激光加工小孔装置包括由上至下依次间隔设置的扫描振镜、激光扫描聚焦镜和楔形镜，所述扫描振镜、所述激光扫描聚焦镜和所述楔形镜位于同一中心轴上，所述扫描振镜，激光束经由所述扫描振镜围绕所述中心轴沿同心圆轨迹旋转；所述激光扫描聚焦镜，所述激光束通过所述激光扫描聚焦镜聚焦；所述激光束，所述激光束通过所述楔形镜产生远离所述中心轴的偏折；且所述楔形镜与所述激光束同步转动，使得透过所述楔形镜的所述激光束保持相同的倾斜角度。
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