[发明专利]一种超短脉冲激光加工小孔装置及小孔加工方法

权利要求书

1.一种超短脉冲激光加工小孔装置，其特征在于，所述超短脉冲激光加工小孔装置包括由上至下依次间隔设置的扫描振镜、激光扫描聚焦镜和楔形镜，所述扫描振镜、所述激光扫描聚焦镜和所述楔形镜位于同一中心轴上，

所述扫描振镜，激光束经由所述扫描振镜围绕所述中心轴沿同心圆轨迹旋转；

所述激光扫描聚焦镜，所述激光束通过所述激光扫描聚焦镜聚焦；

所述激光束，所述激光束通过所述楔形镜产生远离所述中心轴的偏折；

且所述楔形镜与所述激光束同步转动，使得透过所述楔形镜的所述激光束保持相同的倾斜角度。

2.如权利要求1所述的超短脉冲激光加工小孔装置，其特征在于，所述楔形镜与驱动电机相连，所述驱动电机驱动所述楔形镜转动。

3.如权利要求1所述的超短脉冲激光加工小孔装置，其特征在于，所述倾斜角度为所述激光扫描聚焦镜的激光聚焦会聚角的一半。

4.如权利要求3所述的超短脉冲激光加工小孔装置，其特征在于，所述倾斜角为3°～5°。

5.一种小孔加工方法，采用如权利要求1至4中任一项所述的超短脉冲激光加工小孔装置，其特征在于，所述小孔加工方法包括：

依次经过所述超短脉冲激光加工小孔装置的扫描振镜、激光扫描聚焦镜和楔形镜的多束倾斜的激光束绕中心轴旋转，该中心轴与被加工件上被加工小孔的中心轴同轴；

所述激光束焦点的运动轨迹为多个同心圆；

通过激光束在被加工件的表面加工出圆环状凹槽；

随被加工出的所述凹槽深度的增加，被加工件同步上移，被加工件上移速度等于被加工件逐层去除的速度；

直至完成被加工件上小孔的加工成形。

6.如权利要求5所述的小孔加工方法，其特征在于，在加工过程中，所述楔形镜绕中心轴旋转，所述楔形镜旋转方向及速度与所述激光束沿圆周运动的轨迹同步。