[发明专利]光刻机的快门叶片在审
| 申请号： | 201310347787.4 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN104345578A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 湛宾洲;崔建波;张升进;陈旻峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光刻机的快门叶片，用于光刻机的曝光系统，所述快门叶片的基体材料为金属材料，所述快门叶片包括接受汞灯光照射的正面和与之相背的背面，所述快门叶片的正面和背面中至少一面上设有一层非金属涂层。本发明通过在所述快门叶片的正面和背面中至少一面上设有涂层，实现了对快门叶片的温度控制，避免了快门受热辐射出的可见光被剂量控制系统中的探测器探测到，进而防止了热辐射对剂量控制造成干扰，克服快门叶片受热的辐射对剂量控制的精度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 快门 叶片 | ||
【主权项】：
一种光刻机的快门叶片，用于光刻机的曝光系统，其特征在于：所述快门叶片的基体材料为金属材料，所述快门叶片包括接受汞灯光照射的正面和与之相背的背面，所述快门叶片的正面和背面中至少一面上设有一层非金属涂层。
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