[发明专利]光刻机的快门叶片

权利要求书

1.一种光刻机的快门叶片，用于光刻机的曝光系统，其特征在于：所述快门叶片的基体材料为金属材料，所述快门叶片包括接受汞灯光照射的正面和与之相背的背面，所述快门叶片的正面和背面中至少一面上设有一层非金属涂层。

2.如权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述非金属涂层的吸收率与发射率的比值的范围为0.01至0.25。

3.如权利要求2所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述非金属涂层的材料为氧化铝或者其他氧化物。

4.如权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述快门叶片的背面设有一层高发射率涂层，该高发射率涂层的发射率的范围为0.85至0.99。

5.如权利要求4所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述高发射率涂层的材料为黑色氧化层或者镀黑镍层。

6.如权利要求4所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述高发射率涂层通过将所述快门叶片的金属基体钝化发黑、氧化发黑或者镀黑镍的方式得到。

7.如权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述快门叶片的背面表面做有粗糙处理，且其表面的粗糙度大于12.5。

8.如权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述背面开设有辐射槽。

9.如权利要求8所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述辐射槽的形状为三角形、梯形或者矩形。

10.如权利要求8所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述快门叶片的厚度的范围为0.75毫米至1毫米，所述辐射槽的槽深范围为0.1毫米至0.3毫米。

11.如权利要求1所述的光刻机的快门叶片，其特征在于：所述快门叶片在结构上区分为位于重心位置附近的中心部、位于边缘位置的边缘部以及位于所述中心部与边缘部之间的连接部，所述连接部包括若干两端分别连接所述中心部和所述边缘部的连接筋部，所述快门叶片的中心部、边缘部和连接筋部的厚度比所述快门叶片的其他部位厚。

12.一种光刻机的快门叶片，其特征在于：所述快门叶片的基体材料为金属材料，所述快门叶片包括接受汞灯光照射的正面和与之相背的背面，所述背面开设有辐射槽或者做有粗糙处理。