[发明专利]电感耦合等离子体处理装置及其控制方法有效
| 申请号： | 201310325922.5 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103813610A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 林正焕 | 申请（专利权）人： | 丽佳达普株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及的电感耦合等离子体处理装置，具备：腔室；源线圈，设在所述腔室的上部的电介质窗外侧；可变电容器控制装置，其包括与所述源线圈连接而用于控制阻抗的可变电容器、使所述可变电容器自动旋转的电机以及用于检测所述电机的旋转的外部编码器；控制部，通过比较从所述外部编码器输出的外部编码器输出值与输入至所述电机的电机动作输入值，来判断所述可变电容器的动作异常。本发明涉及的电感耦合等离子体处理装置及其控制方法，通过电机精密地控制连接于各源线圈且用于调节阻抗的可变电容器的动作，以能够对多个源线圈有效地进行阻抗控制，而且能够对多个可变电容器精密地进行自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 处理 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子体处理装置，其具备：腔室；源线圈，设在所述腔室的上部的电介质窗外侧；可变电容器控制装置，其包括与所述源线圈连接而用于控制阻抗的可变电容器、使所述可变电容器自动旋转的电机以及用于检测所述电机的旋转的外部编码器；控制部，通过比较从所述外部编码器输出的外部编码器输出值与输入至所述电机的电机动作输入值，来判断所述可变电容器的动作异常。
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