[发明专利]电感耦合等离子体处理装置及其控制方法

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体处理装置，其具备：

腔室；

源线圈，设在所述腔室的上部的电介质窗外侧；

可变电容器控制装置，其包括与所述源线圈连接而用于控制阻抗的可变电容器、使所述可变电容器自动旋转的电机以及用于检测所述电机的旋转的外部编码器；

控制部，通过比较从所述外部编码器输出的外部编码器输出值与输入至所述电机的电机动作输入值，来判断所述可变电容器的动作异常。

2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，

在所述控制部存储有所述可变电容器的动作基准值，当所述控制部检测到所述可变电容器发生动作异常时，驱动所述电机以将所述可变电容器设定为所述动作基准值。

3.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，

所述动作异常是所述电机的失步。

4.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，

在所述电介质窗的上侧具有多个区域，在所述多个区域分别设有所述源线圈。

5.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，

具有多个所述源线圈，在所述多个源线圈上分别具有所述可变电容器控制装置，并且具有用于控制所述可变电容器控制装置的从控制器，所述从控制器通过网络与主计算机连接。

6.根据权利要求5所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，

所述主计算机上连接有输入输出部，在所述输入输出部上显示输入所述可变电容器的动作设定值的设定值输入部、输入所述动作基准值的动作基准值输入部、所述动作设定值、所述动作基准值、所述电机动作输入值和所述外部编码器输出值。

7.根据权利要求5所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，

在所述可变电容器控制装置上设有用于检测所述可变电容器的电容量的电容量检测传感器，所述输出部显示由所述电容量检测传感器检测到的所述可变电容器的电容量。

8.根据权利要求6所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，

所述动作基准值是所述可变电容器的最小电容量。

9.一种电感耦合等离子体处理装置的控制方法，该电感耦合等离子体处理装置具备：源线圈，设在所述腔室上部的电介质窗外侧；可变电容器控制装置，其包括与所述源线圈连接而用于控制阻抗的可变电容器、使所述可变电容器自动旋转的电机以及用于检测所述电机的旋转的外部编码器；控制部，用于控制所述可变电容器控制装置的动作，

所述控制方法的特征在于，

通过比较从所述外部编码器输出的外部编码器输出值与向所述电机输入的电机动作输入值，来判断所述可变电容器的动作异常。

10.根据权利要求9所述的电感耦合等离子体处理装置的控制方法，其特征在于，

所述动作异常是所述电机的失步。

11.根据权利要求9所述的电感耦合等离子体处理装置的控制方法，其特征在于，

当所述控制部检测到发生所述动作异常时，驱动所述电机以将所述可变电容器设定为动作基准值。

12.根据权利要求11所述的电感耦合等离子体处理装置的控制方法，其特征在于，

所述动作基准值是所述可变电容器的最小电容量。

13.根据权利要求12所述的电感耦合等离子体处理装置的控制方法，其特征在于，

在所述电介质窗的上侧具有多个区域，在所述多个区域分别设有所述源线圈，所述可变电容器控制装置分别设在所述源线圈上，以对各源线圈进行阻抗控制。

14.根据权利要求13所述的电感耦合等离子体处理装置的控制方法，其特征在于，

具有能够同时控制多个所述可变电容器控制装置的从控制器，所述从控制器通过网络与主计算机连接，以将从所述可变电容器控制装置传送的数据传送给所述主计算机，而所述主计算机向所述从控制器传送用于同时控制多个可变电容器控制装置的信号。

15.根据权利要求14所述的电感耦合等离子体处理装置的控制方法，其特征在于，

与所述主计算机连接的多个所述从控制器通过网络连接。