[发明专利]半导体装置无效
申请号: | 201310325316.3 | 申请日: | 2013-07-30 |
公开(公告)号: | CN104064585A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 西川幸江;高桥宣博;柴田浩延 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/861;H01L29/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 杨谦;房永峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 实施方式提供一种实现了高耐压和低损失性这两者的半导体装置。实施方式涉及的半导体装置具备:第1导电型的第1半导体层;第2半导体层,具有设置于所述第1半导体层之上的立方晶体结构;电极,设置于所述第2半导体层之上;以及反应部,设置于所述第2半导体层与所述电极之间。所述第2半导体层具有相对于(100)晶面倾斜的上表面。所述反应部含有构成所述第2半导体层的至少1种元素和构成所述电极的至少1种元素,具有向所述第2半导体层侧延伸的突起。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,具备:第1导电型的第1半导体层;第2导电型的第2半导体层,具有设置于所述第1半导体层之上的立方晶体结构,具有相对于(100)晶面倾斜的上表面;电极,设置于所述上表面之上;以及反应部,设置于所述第2半导体层与所述电极之间,含有构成所述第2半导体层的至少1种元素和构成所述电极的至少1种元素,具有向所述第2半导体层侧延伸的突起。
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