[发明专利]一种片式电子元器件内电极的制备方法

摘要

一种片式电子元器件内部电极的制备方法，主要包括：在暗室中，用负性感光导电金属浆料印刷初步内电极图形，然后在掩膜板作用下，将印刷的初步内电极图形按目标内电极图形要求要求曝光固化，再经过与负性感光导电金属浆料匹配的显影液显影，用溶剂清除精细电极图形之外的电极轮廓，保留已经固化的目标内电极图形，经干燥后完成内电极制备。本发明在采用传统丝网印刷工艺制作元器件内电极的基础上，利用负性感光导电金属浆料对特定波长光的敏感性，再通过曝光显影的方式，将目标内电极图形精细地刻画出来，以达到小尺寸电子元器件内部电极图形设计的要求，够制备出线宽精度更高的内电极，适用于英制0201、01005或更小尺寸元件内电极的制备。

主权项

一种片式电子元器件内电极的制备方法，包括以下步骤：步骤1：表面清洁处理；对需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片表面进行清洁处理，以保证需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片的清洁度和平整度；步骤2：丝网印刷负性感光导电金属浆料；采用丝网印刷工艺，于暗室中将负性感光导电金属浆料印刷于需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片表面，形成初步的内电极图形；步骤3；初步烘干；于暗室中将步骤2印刷成初步内电极图形的负性感光导电金属浆料初步烘干，烘干温度为60℃到90℃；步骤4：对位曝光；于暗室中将掩模板覆盖于步骤3初步烘干后的初步内电极图形上，并使得掩膜板内部透光区域准确对位于初步烘干后的初步内电极图形；然后通过高压汞灯、准分子激光器、X射线或电子束照射负感光导电金属浆料印刷的初步内电极图形，通过金属浆料内光固化体系的化学作用，使得形成目标内电极图形的负感光导电金属浆料曝光而固化；步骤5：显影；用负性感光导电金属浆料专用的显影液沉浸或喷射曝光固化后的内电极图形，使得曝光固化的目标内电极图形得以显影；步骤6：清除轮廓；用可溶解未曝光的负性感光导电金属浆料的溶剂冲洗整个内电极图形，并清除未曝光的负感光导电金属浆料，已达到清除目标内电极轮廓的目的；步骤7：再烘干；将步骤6清除目标内电极轮廓后的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片再次烘干，完成片式元器件内电极的制备。