[发明专利]一种片式电子元器件内电极的制备方法

权利要求书

1.一种片式电子元器件内电极的制备方法，包括以下步骤：

步骤1：表面清洁处理；对需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片表面进行清洁处理，以保证需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片的清洁度和平整度；

步骤2：丝网印刷负性感光导电金属浆料；采用丝网印刷工艺，于暗室中将负性感光导电金属浆料印刷于需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片表面，形成初步的内电极图形；

步骤3；初步烘干；于暗室中将步骤2印刷成初步内电极图形的负性感光导电金属浆料初步烘干，烘干温度为60℃到90℃；

步骤4：对位曝光；于暗室中将掩模板覆盖于步骤3初步烘干后的初步内电极图形上，并使得掩膜板内部透光区域准确对位于初步烘干后的初步内电极图形；然后通过高压汞灯、准分子激光器、X射线或电子束照射负感光导电金属浆料印刷的初步内电极图形，通过金属浆料内光固化体系的化学作用，使得形成目标内电极图形的负感光导电金属浆料曝光而固化；

步骤5：显影；用负性感光导电金属浆料专用的显影液沉浸或喷射曝光固化后的内电极图形，使得曝光固化的目标内电极图形得以显影；

步骤6：清除轮廓；用可溶解未曝光的负性感光导电金属浆料的溶剂冲洗整个内电极图形，并清除未曝光的负感光导电金属浆料，已达到清除目标内电极轮廓的目的；

步骤7：再烘干；将步骤6清除目标内电极轮廓后的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片再次烘干，完成片式元器件内电极的制备。

2.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤1对需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片表面进行清洁处理时，采用用高压气体吹除需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片灰尘和杂质颗粒，以需要制备内电极的片式元器件陶瓷体或铁氧体膜片的清洁度和平整度。

3.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤2中所述负性感光导电金属浆料采用美国uninwell公司生产的BQ-6060型光敏导电银浆。

4.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤3初步烘干时，具体采用移动带式红外烘箱、高温光源辐射或热风对流循环方式进行。

5.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤4对位曝光时，采用CCD图像对位方式将掩膜板和初步烘干后的初步内电极图形精确对位。

6.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤4中所述掩膜板采用不透光的光绘膜或菲林制作。

7.根据权利要求1所述的片式电子元器件内电极的制备方法，其特征在于，步骤5中所述显影液为二甲苯。