[发明专利]气体传感器和用于制造这种气体传感器的方法在审
| 申请号： | 201310306951.7 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN103529108A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | A·克劳斯;W·达夫斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;H01L29/772 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 宣力伟;杨国治 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于探测包含在流体流中的物质的气体传感器(10)，所述气体传感器包括具有衬底(12)的场效应晶体管，在所述衬底上布置有能够暴露于气体的栅电极(22)、源电极(18)和漏电极(20)，其中在所述衬底(12)和所述栅电极(22)之间布置有电绝缘部(24)，其中所述电绝缘部(24)构造为层系统，并且其中将规定的并且稳定的电荷引入到所述层系统的至少一层(26、28、30)中。这种气体传感器(10)即使在高温时也通过机械方面和电方面稳定的电绝缘部(24)提供特别稳定的测量性能。此外本发明还涉及一种用于制造这种气体传感器(10)的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 用于 制造 这种 方法 | ||
【主权项】：
气体传感器，包括具有衬底(12)的场效应晶体管，在所述衬底上布置有能够暴露于气体的栅电极(22)、源电极(18)和漏电极(20)，其中在所述衬底(12)和所述栅电极(22)之间布置有电绝缘部(24)，其中所述电绝缘部(24)构造为层系统，并且其中将规定的、稳定的电荷引入到所述层系统的至少一层(26、28、30)中。
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