[发明专利]多晶硅铸锭的制备方法无效
| 申请号： | 201310301703.3 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103343388A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 李飞龙;许涛;翟传鑫;张伟娜 | 申请（专利权）人： | 阿特斯（中国）投资有限公司;阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种多晶硅铸锭的制备方法，该方法包括以下步骤：S1、制备均匀分散有颗粒硅及石英砂的浆料；S2、将所述浆料倒入坩埚内，在预定温度烘干后，烧结制得颗粒硅形核层；S3、在所述坩埚内加入多晶硅料，并将该装有多晶硅料的坩埚放置于一定向凝固铸锭炉中抽真空，并加热使所述多晶硅料融化进入长晶阶段；S4、进入长晶阶段后调节控温电偶的温度和侧部隔热笼向上移动的速率，使热量向下辐射而使熔融硅在所述颗粒硅形核层上形核结晶；S5、待所述熔融硅结晶完后经退火和冷却形成多晶硅铸锭，本发明提供的多晶硅铸锭的制备方法成本较低，且制得的多晶硅铸锭位错密度低。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1、制备均匀分散有颗粒硅及石英砂的浆料；S2、将所述浆料倒入坩埚内，在预定温度烘干后，烧结制得颗粒硅形核层；S3、在所述坩埚内加入多晶硅料，并将该装有多晶硅料的坩埚放置于一定向凝固铸锭炉中抽真空，并加热使所述多晶硅料融化进入长晶阶段；S4、进入长晶阶段后调节控温电偶的温度和侧部隔热笼向上移动的速率，使热量向下辐射而使熔融硅在所述颗粒硅形核层上形核结晶；S5、待所述熔融硅结晶完后经退火和冷却形成多晶硅铸锭。
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