[发明专利]用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统有效
| 申请号： | 201310298855.2 | 申请日： | 2005-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN103439346B | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | C·H·德;托马索·托雷利;多米尼克·戴维;C·杨;迈克尔·戈登·斯科特;拉里塔·A·巴拉苏布若门尼;L·高;T·黄;J·张;米哈尔·科瓦斯基;乔纳森·奥克利 | 申请（专利权）人： | 恪纳腾技术公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统。还提供各种用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法。一种方法包括基于在样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将各个缺陷指派到缺陷组。所述方法还包括向用户显示关于所述缺陷组的信息。此外，所述方法包括允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类。还提供了被配置来分类样品上的缺陷的系统。一种系统包括在处理器上可执行的程序指令，所述程序指令用于基于在所述样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将所述各个缺陷指派到缺陷组。所述系统还包括用户界面，所述用户界面被配置来向用户显示关于所述缺陷组的信息，并且允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 分类 样品 缺陷 计算机 实现 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法，包括：基于在所述样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将所述各个缺陷自动指派到缺陷组；在所述指派步骤之后，向用户显示关于所述缺陷组的信息，其中所述信息包括关于被包括在所述缺陷组中的每一个组中的一个或更多个典型缺陷的信息，其中直到所述一个或更多个典型缺陷和其他缺陷已经被指派到所述缺陷组后，才进行所述显示步骤，且其中到所述用户的所述信息为一个或多个典型缺陷的平均特性的估计；以及允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类，其中所述指派步骤、所述显示步骤以及所述允许步骤由计算机系统进行。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于恪纳腾技术公司，未经恪纳腾技术公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310298855.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
