[发明专利]微机械结构、尤其是传感器装置和对应的运行方法有效
| 申请号： | 201310297234.2 | 申请日： | 2013-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN103539061A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | J.克拉森;M.哈塔斯;L.特布杰;D.C.迈泽尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;G01C19/5733;G01P15/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;刘春元 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械结构、尤其是传感器装置和一种对应的运行方法。所述微机械结构、尤其是传感器装置包括至少一个微机械的功能层(100,101)；设置在所述至少一个微机械的功能层(100,101)下方的、具有至少一个可配置的电路装置(PS)的CMOS衬底区域(700")；设置在所述至少一个微机械的功能层(100,101)和所述CMOS衬底区域(700")之间并且电连接到所述微机械的功能层(100,101)和所述电路装置(PS)上的一个或多个接触元件(30,30',30")的装置。所述可配置的电路装置(PS)被设计为，使得所述一个或多个接触元件(30、30',30")可选择性地与CMOS衬底区域(700")中的电连接线路(L1,L2,L3)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 尤其是 传感器 装置 对应 运行 方法 | ||
【主权项】：
微机械结构、尤其是传感器装置，具有：至少一个微机械的功能层(100,101)；设置在所述至少一个微机械的功能层(100,101)下方的、具有至少一个可配置的电路装置(PS)的CMOS衬底区域(700")；设置在所述至少一个微机械的功能层(100,101)和所述CMOS衬底区域(700")之间并且电连接到所述微机械的功能层(100,101)和所述电路装置(PS)上的一个或多个接触元件(30,30',30")的装置，其中，所述可配置的电路装置(PS)被设计为，使得所述一个或多个接触元件(30,30',30")可选择性地与所述CMOS衬底区域(700")中的电连接线路(L1,L2,L3)连接。
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