[发明专利]动态随机存取存储器及制造方法、半导体封装件及封装方法有效

专利信息
申请号: 201310289419.9 申请日: 2013-07-10
公开(公告)号: CN103366798A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: 赵立新;兰军强;章涛 申请(专利权)人: 格科微电子(上海)有限公司
主分类号: G11C11/4063 分类号: G11C11/4063;H01L27/108;H01L23/488;H01L25/18;H01L21/98
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种动态随机存取存储器及制造方法、半导体封装件及封装方法。动态随机存取存储器制造方法包括:提供存储器晶圆,存储器晶圆上有存储器裸片,存储器裸片上有顶层金属层,顶层金属层上有电源焊盘、信号焊盘和微焊盘,引出存储器裸片的内部总线与微焊盘电相连;对存储器晶圆进行修复;若存储器晶圆的良品率大于等于预定阈值,对微焊盘进行重新排布,形成对接焊盘,对接焊盘与微焊盘、电源焊盘电相连。半导体封装方法,包括:提供有动态随机存取存储器的第一晶圆;提供有逻辑芯片的第二晶圆;第一晶圆和第二晶圆通过相适应的对接焊盘的电连接实现晶圆级封装。本发明不对DRAM结构做较大改动,而提高DRAM的数据带宽,同时保证较高的良品率。
搜索关键词: 动态 随机存取存储器 制造 方法 半导体 封装
【主权项】:
一种动态随机存取存储器制造方法,其特征在于,包括:提供存储器晶圆,所述存储器晶圆上形成有存储器裸片,所述存储器裸片上形成有顶层金属层,所述顶层金属层上形成有电源焊盘、信号焊盘和微焊盘,引出所述存储器裸片的内部总线与所述微焊盘电相连;对所述存储器晶圆进行修复;修复后,若所述存储器晶圆的良品率大于等于预定阈值,则对所述微焊盘进行重新排布,形成对接焊盘,所述对接焊盘与所述微焊盘、所述电源焊盘电相连。
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