[发明专利]一种基于光学谐振腔的微粒粒度检测传感器无效
申请号: | 201310285299.5 | 申请日: | 2013-07-01 |
公开(公告)号: | CN104280321A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 黄辉;渠波;吴海波;刘蓬勃;白敏 | 申请(专利权)人: | 黄辉;渠波;吴海波 |
主分类号: | G01N15/02 | 分类号: | G01N15/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116024 辽宁省大连市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供一种基于光学谐振腔的微粒粒度检测传感器,其特征是:光学谐振腔采用由介质膜布拉格反射镜(DBR)构成的Fabry-Pérot腔;由于谐振腔的谐振效应使得腔内光强度得到大幅提高,增强了腔内颗粒对光的散射效应;同时,由于DBR的反射率对角度敏感,当入射角超过特定阈值时,DBR的反射率急剧降低,因此散射角度超过特定阈值的散射光可以从谐振腔内有效导出、并被探测。本发明的传感器,既能增强颗粒对光的散射效应,又能有效导出散射光,具有灵敏度高和结构简单的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 光学 谐振腔 微粒 粒度 检测 传感器 | ||
【主权项】:
一种基于光学谐振腔的微粒粒度检测传感器,其特征是:光学谐振腔采用由介质膜布拉格反射镜(DBR)构成的Fabry‑Pérot腔;由于谐振腔的谐振效应使得腔内光强度得到大幅提高,增强了腔内颗粒对光的散射效应;同时,由于DBR的反射率对角度敏感,当入射角超过特定阈值时,DBR的反射率急剧降低,因此散射角度超过特定阈值的散射光可以从谐振腔内有效导出。
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