[发明专利]一种用于金属制品的双面蚀刻方法有效
| 申请号： | 201310275951.5 | 申请日： | 2013-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN103352224A | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 郭钟宁;宋卿;黄红光;王冠 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋静娜 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于金属制品的双面蚀刻方法，所述方法包括以下过程：在金属制品的上表面和下表面进行掩膜处理，所述上表面和下表面的掩膜层图案对应一致；先将掩膜后的金属制品上表面或下表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，然后将金属制品翻转，将金属制品的下表面或上表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，完成对金属制品的双面蚀刻；对双面蚀刻后的金属制品进行脱膜处理，除去掩膜层，并进行清洗、抛光后处理。本发明所述方法可在金属制品上加工出尺寸精度较好的微小通孔结果，侧蚀量小，加工效率高，适合大规模生产加工的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属制品 双面 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
一种用于金属制品的双面蚀刻方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在金属制品的上表面和下表面进行掩膜处理，所述上表面和下表面的掩膜层图案对应一致；（2）先将掩膜后的金属制品上表面或下表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，然后将金属制品翻转，将金属制品的下表面或上表面置于蚀刻机进行喷淋蚀刻，完成对金属制品的双面蚀刻；所述双面蚀刻中的蚀刻液包含以下质量比的组分：三氯化铁20～40%、盐酸3～5%、硝酸1～2%、氢氟酸0.3～0.5%、双氧水0.2～0.4%、氯化钠0.1～0.3%、余量为水；（3）对双面蚀刻后的金属制品进行脱膜处理，除去掩膜层，并进行清洗、抛光后处理。
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