[发明专利]电迁移可靠性测试结构及其使用方法

摘要

本发明公开了一种电迁移可靠性测试结构及其使用方法，将所述第三检测结构的引出端连接于所述第一检测结构的检测端，那么在检测是否存在突起时，则可采用判断电势差是否有改变，而不必判断微小的漏电流，这能够大大的提高检测效率，避免了由于漏电流过小难以检测到的情况发生，此外，还可以减少一个焊垫，从而节省测试区域，有利于提高集成度。

主权项

一种电迁移可靠性测试结构，其特征在于，包括：横向排列且相对设置的第一检测结构和第二检测结构，所述第一检测结构和第二检测结构皆连接有电源端和检测端，所述第一检测结构和第二检测结构的电源端分别连接电源的阴极和阳极，所述第一检测结构和第二检测结构之间用于设置待检测部件；第三检测结构，所述第三检测结构为中空的矩形结构，其能够间隙围绕所述待检测部件且与所述待检测部件相独立，所述第三检测结构具有一引出端，所述引出端连接于所述第一检测结构的检测端。