[发明专利]环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置

摘要

一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，构成包括液压升降平台系统、反射镜系统、扩束镜系统和主干涉系统。本发明用于测量环形抛光机蜡盘面形，具有装置集成化、测量方便、测量快速、准确和在线实时测量的特点。

主权项

一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，特征在于其构成包括液压升降平台系统（1）、反射镜系统（2）、扩束镜系统（3）和主干涉系统（4），所述的主干涉系统（4）包括干涉仪（4‑1）、计算机（4‑2）及连接线（4‑3），所述的扩束镜系统（3）包括负组正透镜（3‑1）、负组负透镜（3‑2）和正组正透镜（3‑3），所述的反射镜系统（2）包括反射镜（2‑6）、调节该反射镜水平位置的三根平行拉杆（2‑5）及安装调节该反射镜俯仰和方位方向的结构，在所述的液压升降平台系统（1）的上平台（1‑5）上设置所述的干涉仪（4‑1）、扩束镜系统（3）和反射镜系统（2）的平行拉杆（2‑5），沿所述的干涉仪（4‑1）输出光束方向依次是同光轴的负组正透镜（3‑1）、负组负透镜（3‑2）和正组正透镜（3‑3）和反射镜（2‑6），所述的反射镜（2‑6）与所述的光轴成45°，所述的干涉仪（4‑1）的输出端经连接线（4‑3）与所述的计算机（4‑2）的输入端相连。