[发明专利]环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置

权利要求书

1.一种环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，特征在于其构成包括液压升降平台系统（1）、反射镜系统（2）、扩束镜系统（3）和主干涉系统（4），所述的主干涉系统（4）包括干涉仪（4-1）、计算机（4-2）及连接线（4-3），所述的扩束镜系统（3）包括负组正透镜（3-1）、负组负透镜（3-2）和正组正透镜（3-3），所述的反射镜系统（2）包括反射镜（2-6）、调节该反射镜水平位置的三根平行拉杆（2-5）及安装调节该反射镜俯仰和方位方向的结构，在所述的液压升降平台系统（1）的上平台（1-5）上设置所述的干涉仪（4-1）、扩束镜系统（3）和反射镜系统（2）的平行拉杆（2-5），沿所述的干涉仪（4-1）输出光束方向依次是同光轴的负组正透镜（3-1）、负组负透镜（3-2）和正组正透镜（3-3）和反射镜（2-6），所述的反射镜（2-6）与所述的光轴成45°，所述的干涉仪（4-1）的输出端经连接线（4-3）与所述的计算机（4-2）的输入端相连。 

2.根据权利要求1所述的环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，其特征在于所述的液压升降平台系统（1）包括一个千斤顶（1-4）支撑的上平台（1-5）和下平台（1-6）构成，下平台（1-6）长边两侧各有2个滚轮（1-1），靠近千斤顶压杆（1-3）一侧的1个滚轮上装有限动开关（1-2），将液压升降平台相对于地面固定，通过按压千斤顶压杆（1-3）调整所述的上平台（1-5）的高度。 

3.根据权利要求1所述的环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，其特征在于所述的反射镜系统（2），包括正方形竖直支架（2-1）、正方形水平支架（2-2）、下平板（2-3）、上平板（2-4）、平行拉杆（2-5）、反射镜（2-6）、四个拉力弹簧（2-7、2-8、2-9和2-10）、球头螺钉（2-11）、俯仰角调节螺钉（2-12）、方位角调节螺钉（2-13）、和底座（2-14），竖直支架（2-1）的左侧顶部中心和底部两端固定呈三角形分布的三根平行拉杆（2-5）的右端，竖直支架（2-1）右侧下端固定水平支架（2-2）的左端，竖直支架（2-1）右侧上端和水平支架（2-2）的右端分别固定连接所述的下平板（2-3）的两端，所述的竖直支架（2-1）、水平支架（2-2）和下平板（2-3）呈等腰直角三角形结构，下平板（2-3）开中心孔，开孔面积与反射镜（2-6）面积相同，该反射镜（2-6）固定在上平板（2-4）下表面的中心，正对该下平板的中心孔，上平板（2-4）和下平 板（2-3）的两邻边各分布2个拉力弹簧（2-7、2-8和2-9、2-10），在该邻边的夹角位置设有一个连接上平板（2-4）和下平板（2-3）的可转动的球头螺钉（2-11），在该组邻边的另两端上平板（2-4）嵌有俯仰调节螺钉（2-12）和方位调节螺钉（2-13）。 

4.根据权利要求1所述的环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，其特征在于所述的反射镜系统（2）的底座（2-14）置于所述的液压升降平台系统（1）的上平台（1-5）上下部呈空心结构，使平行拉杆（2-5）左端自由出入。 

5.根据权利要求1所述的环形抛光机蜡盘面形在线实时测量装置，其特征在于所述的扩束镜系统（3）还包括外套（3-4）和三个矩形平板支架（3-5、3-6、3-7），所述的矩形平板支架（3-5、3-6和3-7）的底部固定在所述的液压升降平台系统1的上平台（1-5）上，所述的外套（3-4）呈喇叭状形状包覆所述的负组正透镜（3-1）、负组负透镜（3-2）和正组正透镜（3-3），负组正透镜（3-1）和负组负透镜（3-2）位于喇叭状外套前端缩口处，正组正透镜（3-3）位于喇叭状外套后端扩口处，喇叭状外套的缩口处和扩口处穿设并固定在两组竖直放置矩形平板支架（3-5）和矩形平板支架（3-6）的中心开孔中，在所述的外套的中间是另一矩形平板支架（3-7），所述的两个矩形平板支架（3-6和3-7）上部中心和底部两侧开有供所述反射镜系统的平行拉杆（2-5）穿过和维持平行稳定的小孔。